東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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詳細(xì)摘要： SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機(jī)是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的MWPLASMA處理及性能檢測(cè)整體解決方案的設(shè)備，是實(shí)現(xiàn)清潔、活化、除膠、刻蝕功效的理想選擇
產(chǎn)品型號(hào)：所在地：東莞市更新時(shí)間：2024-03-18 在線留言
詳細(xì)摘要： SPMV-100H腔體式微波真空等離子清洗機(jī)，自由基分子的等離子體無(wú)偏壓，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率高
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詳細(xì)摘要： 實(shí)驗(yàn)型微波等離子去膠機(jī)
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詳細(xì)摘要： RTEPLASMA等離子去膠機(jī)適用于硅基材料的晶圓表面去膠的清洗設(shè)備，也可用于光刻膠去除，碳化硅刻蝕，硬掩膜層干法清除，刻蝕后表面清潔，氧化硅或氮化硅刻蝕
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詳細(xì)摘要： ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計(jì)，采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)均勻的流暢分布，去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異
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